Галперин Валерий Александрович РоссияМосква Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН, 119991, г. Москва, Ленинский пр-т, 32а ???старший научный сотрудникv.galperin@tcen.ru Статьи автора Особенности деградации кремниевых электродов при циклировании